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EUV lithography 原理
EUV極紫外光微影技術.ASML是全世界唯一採用極紫外光的微影設備製造商。為了能控制EUV極紫外光光源,並推動EUV微影系統商用化,20多年來,ASML持續投入研發,克服各種 ...,2021年5月27日—紫外光經過光罩後,利用各種光學原理將光束射在晶圓上,就可以在上面刻出精細...
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